Plasma pinnapuhastus on protsess, mille käigus eemaldatakse proovipinna lisandid ja saasteained, luues gaasilistest osakestest suure energiaga plasma. See on mõeldud mitmesugusteks rakendusteks, nagu pinna puhastamine, pindade steriliseerimine, pinna aktiveerimine, pinnaenergia muutmine, pinna ettevalmistamine liimimiseks ja adhesiooniks, pinnakeemia muutmine.